奥林巴斯MX63/MX63L半导体与平板显示器检测显微镜

MX63和MX63L显微镜系统特别适合尺寸最大300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件,获得根据应用定制的系统。

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  • 品牌: OLYMPUS/奥林巴斯
  • 型号: MX63/MX63L
  • 类型: 工业显微镜

让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅

MX63和MX63L显微镜系统特别适合尺寸最大300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件,获得根据应用定制的系统。

这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时保持检测者的工作舒适性。在与奥林巴斯Stream图像分析软件结合使用情况下,可以简化从观察到报告生成的整体工作流。

最先进的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像,让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。

从不可见到可见:MIX观察与图像采集

通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用,MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕,对于样品表面纹理的可视化非常有用。

半导体晶圆上的结构

奥林巴斯显微镜

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集成电路图形不够清晰。


晶圆颜色不可见。


晶圆颜色和集成电路图形均清晰可辨。


 

半导体晶圆上的光刻胶残留物


 奥林巴斯显微镜

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样品本身不可见。


残留物不清晰。


集成电路图形和残留物均清晰可辨。



聚光镜


奥林巴斯显微镜 

 奥林巴斯显微镜

 奥林巴斯显微镜

 奥林巴斯显微镜

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表面受到反射。


来自不同角度定向暗场的多幅图像。


将没有光晕的清晰图像拼接在一起,创建样品的单幅清晰图像。


 

轻松生成全景图像: 即时图像拼接

利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速完成图像拼接—电动载物台无需进行该操作。奥林巴斯Stream软件利用模式识别生成全景图像,让用户获得更宽的视场。

奥林巴斯显微镜

硬币的即时MIA图像

生成全聚焦图像: EFI

奥林巴斯Stream软件的景深扩展成像(EFI)功能可采集高度超出物镜焦点深度的样品图像,并可将其合成一幅全聚焦图像。EFI配合手动或电动Z轴调焦使用,可轻松实现结构可视化的高度图像。其也可在Stream桌面版(Desktop)离线情况下生成EFI图像。

奥林巴斯显微镜

集成电路芯片上的凸块

利用HDR同时捕捉明亮区域和暗光区域

采用先进图像处理技术的高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异,从而减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质,从而有助于生成具有专业级外观的报告。


 奥林巴斯显微镜

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 奥林巴斯显微镜

奥林巴斯显微镜

 奥林巴斯显微镜

 奥林巴斯显微镜

 奥林巴斯显微镜


某些部位存在眩光。


暗光区域和明亮区域利用HDR获得清晰呈现。


TFT阵列因滤色片的亮度而漆黑一片。


TFT阵列利用HDR获得呈现。



从基本测量到高级分析

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便是入门级奥林巴斯Stream软件包也融入了交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便存档。此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供面向工作流的直观界面。点击按钮一下,图像分析任务即可快速精准完成。在大幅度缩减重复性任务的处理时间情况下,操作人员可以将精力集中在手边的检测工作上。

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基本测量(印刷电路板上的图形)               分散能力解决方案(PCB通孔的横截面)   自动测量解决方案(晶圆结构)

高效的报告创建

创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。奥林巴斯Stream软件提供了直观的报告创建功能,能够根据预先设定的模板多次创建专业复杂的报告。编辑非常简单,报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外,奥林巴斯Stream报告功能能够对采集的图像进行数字变焦和倍率放大。报告文件大小适中,通过电子邮件进行数据传递更加方便。

奥林巴斯显微镜 

独立相机选项

利用DP22或DP27显微镜相机,MX63系列即可成为先进的独立系统。该相机采用几乎不占空间的紧凑型控制盒进行控制,在采集清晰图像以及进行基本测量工作的同时让实验室空间得到充分利用。

奥林巴斯显微镜 

相机控制盒

支持洁净室合规性的先进设计

MX63系列专为洁净室工作而设计,并具有帮助最大限度减小样品污染或受损风险的功能。该系统采用人体工学设计,可帮助用户在长时间使用中保持舒适。MX63系列符合包括SEMI S2/S8、CE和UL国际规范及标准要求。

选配晶圆搬送机 — AL120系统* 

选配的晶圆搬送机可安装在MX63系列上,实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅片及化合物半导体晶圆从片盒转移到显微镜载物台上。卓越的性能和可靠性可实现安全高效的前后宏观检测,同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。

奥林巴斯显微镜 

MX63系统与AL120晶圆搬送机结合使用(200毫米型号)

* AL120 未在欧洲、中东、非洲地区(EMEA)销售。

快速、清洁的检测

MX63系列可实现无污染的晶圆检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内,显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理。电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全,缩短检测间隔时间的同时,让操作人员的手始终保持在晶圆下方,避免了潜在的污染。

 奥林巴斯显微镜  奥林巴斯显微镜

    防静电呼吸防护罩                                  电动物镜转换器

系统设计实现高效观察

利用内置离合和XY旋钮,XY载物台能够实现对载物台移动的粗调和微调。即便针对诸如300毫米晶圆这样的大尺寸样品,载物台也可帮助实现高效的观察
可调倾角观察镜筒的调节范围可让操作人员以舒适的姿态坐在显微镜前工作。

  

   带有内置离合的载物台手柄                   可调倾角观察镜筒可确保舒适的工作姿态

接受所有晶圆尺寸

奥林巴斯显微镜 

晶圆支架和玻璃板

该系统可配合各类150–200毫米和200– 300毫米晶圆支架和玻璃板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化,以很少的成本即可更改显微镜镜架。有了MX63系列,各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圆。



MX63MX63L
光学系统UIS2光学系统(无限远校正系统) 
显微镜镜架反射光照明白光LED (带有光强度控制器) 12伏100瓦卤素灯, 100瓦汞灯 明场/暗场/分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。) 
通过手动操作调整3位编码分光镜组件 
内置电动孔径光阑(针对所有物镜预设,暗场自动完全打开) 
观察模式:明场、暗场、微分干涉相衬(DIC)*1、简易偏光 *1、荧光 *1、红外 *1 和MIX观察(4个定向暗场)*2
*1选配分光镜组件,*2 需使用MIX观察配置
透射光照明透射光照明装置:需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 
-  MX-TILLA:聚光镜NA 0.5)和孔径光阑 
-  MX-TILLB:聚光镜(NA 0.6),孔径光阑以及视场光阑 
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦卤素灯) 光导: LG-SF     
观察模式: 明场、简易偏光
聚焦行程:32毫米 
每转行程微调:100微米 
最小分度: 1微米 
用于粗调的上限限位器和扭矩调节
最大载荷重量(包括载物台和支架) 8公斤15公斤
观察筒宽视场(FN 22毫米)正像三目镜筒:U-ETR4 
正像、可调倾角三目镜筒: U-TTR-2 
倒像三目镜筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于红外观察) 
倒像双目镜筒: U-BI30-2 
倒像可调倾角双目镜筒:U-TBI30
超宽视场(FN 26.5毫米) 正像可调倾角三目镜筒:MX-SWETTR (光程切换100% (目镜) : 0 (相机) 或 0 : 100%) 
正像可调倾角三目镜筒: U-SWETTR (光程切换100% (目镜) : 0 (相机) 或 20% : 80%) 
倒像三目镜筒: U-SWTR-3
电动物镜转换器明场
带DIC插槽的电动六孔:U-D6REMC
带DIC插槽的电动定心五孔:U-P5REMC
明场和暗场
带DIC插槽的电动六孔:U-D6BDREMC
带DIC插槽的电动五孔:U-D5BDREMC
带DIC插槽的电动定心五孔:U-P5BDREMC
载物台 (X × Y)带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC8R
行程: 210 x 210毫米
透射光照明区域:189 x 189毫米
带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC6R2
行程: 158 x 158毫米
(仅适用于反射光)
带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC1412R2 
行程: 356 x 305毫米 
透射光照射区域:356 x 284毫米
重量约35.6公斤 (显微镜架26公斤)约44公斤 (显微镜架28.5公斤)


标签: MX63 MX63L
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